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CCI HD非接触式白光干涉轮廓仪基础测量：提供尺寸和粗糙度测量功能。

膜厚测量：支持两种类型的膜厚测量，涵盖厚膜和薄膜涂层：

厚膜测量：可研究厚度至约 1.5 微米的半透明涂料，测量限制取决于材料的折射率和标的物的 NA。

薄膜测量：能测量厚度至 50 纳米的薄膜涂层（同样取决于折射率），且通过干涉测量法，可在单次测量中同时研究膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷以及薄涂层表面的剥离等特性。

技术特点

采用享有优势的新型关联算法，用于查找由精密光学扫描装置产生的干涉图的相干峰和相位，整合了非接触式尺寸测量功能和良好的厚薄膜测量技术，能应对薄膜涂层测量难度更高的挑战。