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X 射线荧光法的精准应用

费希尔 X 射线测厚仪基于X 射线荧光（XRF）原理实现无损测量，核心逻辑可概括为 "激发 - 探测 - 分析" 三步：

射线激发：设备内置微焦点 X 射线管（多采用钨阳极）发射初级 X 射线，穿透被测材料表层；

荧光产生：材料原子吸收能量后释放特征荧光射线，其能量与元素种类对应，强度与厚度正相关；

信号解析：通过比例计数管、硅 PIN 二极管或硅漂移探测器（SDD）捕捉荧光信号，经数字脉冲处理器（DPP+）转化为电信号，最终由软件计算厚度值。

这一技术可实现0.01μm 级精度测量，且支持真空与空气两种测量环境，能适应最高 400℃的样品温度。